发明名称 | 包含智能通道门的SMIF装载通道接口 | ||
摘要 | 本发明披露了一种SMIF装载通道装置,包括一通道门位置补偿装置,能够动态地调整通道门前表面与装载到该装载通道装置上的容器门的前表面之间的相对间距,从而补偿容器前表面的各种不正确定位。该位置补偿装置包括一可平移地安装在通道门上的插销,以及一用于检测该插销位置的传感器。当容器装载到装载通道装置上并向通道门推进时,在容器门的前表面与插销相接触时,位置补偿装置与全局控制器相结合能够识别容器门的准确位置。通过这种识别,通道和/或容器门的位置也可以调整以补偿装载通道装置上的容器门的前表面的任何不正确定位。 | ||
申请公布号 | CN1543663A | 申请公布日期 | 2004.11.03 |
申请号 | CN02816096.7 | 申请日期 | 2002.07.10 |
申请人 | 阿赛斯特技术公司 | 发明人 | 弗雷德里克·T·罗森库斯特 |
分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;吴贵明 |
主权项 | 1.一种位置补偿装置,包含在一装载通道装置上,用于当一容器在一容器推进板上向一通道推进后,通过一装载通道,在装载到所述装载通道装置的所述容器与所述装载通道装置连接于其上的一加工设备之间传送工件,所述装载通道装置包括一具有一前表面的通道门,以及所述容器包括一容器门和一容器壳,所述容器门包括一面对所述通道门前面的前表面,所述位置补偿装置包括:一传感器系统,用于在所述容器在所述容器推进板上开始向所述通道门推进后检测所述通道门前表面与所述容器门前表面之间的间距;以及调整装置,用于根据由所述传感器系统检测到的所述间距,调整所述通道门和所述容器门中至少其一的位置。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |