| 发明名称 | 水性缓冲含氟蚀刻残渣去除剂和清洁剂 | ||
| 摘要 | 本发明涉及pH值在7－11之间的水性缓冲含氟组合物。由于氧化和金属蚀刻速率等与pH值相关的性能随pH值的稳定而稳定，所以该缓冲组合物具有较长的工作寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN1543498A | 申请公布日期 | 2004.11.03 |
| 申请号 | CN02815972.1 | 申请日期 | 2002.06.04 |
| 申请人 | 气体产品及化学制品公司 | 发明人 | 达里尔·W·彼得斯;罗伯托·J·罗维托;珍妮弗·M·里克尔 |
| 分类号 | C11D7/08 | 主分类号 | C11D7/08 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 过晓东 |
| 主权项 | 1.一种水性缓冲含氟组合物，其包括：A：氟硼酸或通式R4NF的含氟化合物，其中R1到R4独立地为氢、醇基、烷氧基或烷基，以及B：缓冲剂，其中该水性缓冲含氟组合物的pH值是7.0-约11.0。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||