制造属于气敏传感器的检测器的方法和根据该方法制造的检测器

摘要

本发明涉及一种制造气敏传感器的方法，所述气敏传感器与检测器配合，用于检测穿过气室的红外线这样的电磁波。气室(2)包括用于包围气体容积(G)以进行估算测量的空腔(21)。形成气室或空腔内壁的表面或部分表面涂有一个或多个金属层(M1，M2)，用于提供高度反射所述电磁波的反射表面。检测器(3)由热敏元件组成且形成在基座(31)上。形成所述检测器的那部分基座由一个或多个拓扑结构的表面区域组成。至少所述那个表面区域或那些表面区域涂有用于形成所述热电偶的第一和第二导电金属层(分别为M1和M2)。第一金属层(M1)以非90°的第一角施加，第二金属层也以非90°且不同于第一角的第二角施加。利用第一和第二金属层(M1，M2)彼此叠加在离散的与检测器相关的表面部分内的优点，包括由此涂敷的导电层的拓扑图形结构和/或轮廓提供了一个或多个热电偶的功能。

主权项

1.一种形成检测器装置的方法，所述检测器与气敏传感器配合，用于检测穿过气室(2)的例如红外线的电磁波，其中所述气室限定能封闭待测或待估算气体容积(G)的空腔(21)，其中形成所述气室(2)或空腔(21)内壁部分(21C，21D，21E)的表面或部分表面覆盖有一个或多个不同金属层，所述金属层用于形成高度反射所述电磁波的表面，其中所述检测器(3)是热敏元件，所述热敏元件形成在非导电基座上；具有拓扑结构；覆盖有第一导电金属层和第二导电金属层，所述金属层形成所述热敏元件，每个所述第一和第二导电金属层以一个角度施加到所述表面结构上，其特征在于，所述基座(B)的部分或区段(2B)用于使所述拓扑图形结构暴露出来并形成所述气室(2)的一个第一部分，然后形成第二部分或再一个部分(2A)以包围所述空腔(21)且适于覆盖具有所述拓扑图形结构的所述部分(2B)，与所述拓扑图形结构外部区域相关的基座用作电路装置和/或离散元件(1a，1b和3)。