| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING AN ARTICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1472017(A1) |
申请公布日期 |
2004.11.03 |
| 申请号 |
EP20030729378 |
申请日期 |
2003.01.07 |
| 申请人 |
PRAXAIR TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
BILLINGHAM, JOHN, FREDRIC |
| 分类号 |
B08B7/00;C11D7/04;C11D7/06;C11D7/08;C11D7/30;C11D7/50;C11D11/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/00;G03F7/42;H01L21/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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