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发明名称 Method for reworking semiconductor wafers
摘要
申请公布号 EP1129823(B1) 申请公布日期 2004.11.03
申请号 EP20010101549 申请日期 2001.01.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KRAEMER, HANS, DR.;TAUBERT, MATTHIAS;LOIBNEGGER, GERNOT, DR.
分类号 B24C3/32;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24C3/32;B24C11/00 主分类号 B24C3/32
代理机构 代理人
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