判断造成半导体机台异常原因的系统与方法

摘要

本发明涉及一种判断造成半导体机台异常原因的系统与方法；本发明使用诊断规则，来逐一检查计算机整合制造系统的子系统的数据，并对应关联至异常根本原因，以针对半导体机台的异常状态产生诊断结果；本发明还具有自学机制，借此将使用者针对诊断结果所产生的判定意见，自动整合成诊断规则，并提供每一个诊断结果一个参考比重值，让使用者得以认知每一个诊断结果的重要程度。

主权项

1、一种判断造成半导体机台异常原因的系统，用以处理一半导体机台所触发的一异常状态，其特征在于该判断造成半导体机台异常原因的系统至少包括：一异常原因推理引擎，其中该异常原因推理引擎至少包括：一异常原因诊断组件，其中该异常原因诊断组件具有多个诊断规则，用以提供给使用者多个诊断结果，一部分的这些诊断规则是用来逐一检查一计算机整合制造系统的多个子系统的数据，并对应关联至多个异常根本原因；以及一自学机制组件，其中该自学机制组件将该使用者针对该些诊断结果所产生的多个判定意见，整合成另一部分的该些诊断规则，该自学机制组件还提供给每一该些诊断结果一参考比重值，借以让该使用者认知每一该些诊断结果的重要程度。