真空蒸镀用掩模及用其制造的有机电致发光显示器面板

摘要

提供一种真空蒸镀用掩模及有机EL显示器面板，该真空蒸镀用掩模能够调整蒸镀用掩模的张力，并且能够容易地从掩模框架上卸下蒸镀用掩模。该掩模是保持在掩模框架(11)上的真空蒸镀用掩模(1)，并包括：蒸镀用掩模主体(10)，安装在蒸镀用掩模主体(10)的至少1个边上的导向部件(12)，在保持在掩模框架(11)上时、通过导向部件(12)向蒸镀用掩模主体(10)施加规定的张力的张力施加机构(14)，和将上述导向部件与上述掩模框架相对于掩模表面沿垂直方向进行固定的固定机构(21)。

主权项

1.一种真空蒸镀用掩模，是保持在掩模框架上的真空蒸镀用掩模，其特征在于，包括：蒸镀用掩模主体，安装在上述蒸镀用掩模主体的至少1个边上的导向部件，在将上述导向部件保持在上述掩模框架上时、通过上述导向部件向上述蒸镀用掩模主体施加规定的张力的张力施加机构，和将上述导向部件与上述掩模框架相对于掩模表面沿垂直方向进行固定的固定机构。