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发明名称 CAPPED POROUS THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0914494(B1) 申请公布日期 2004.11.03
申请号 EP19970932677 申请日期 1997.07.23
申请人 THE GOVERNORS OF THE UNIVERSITY OF ALBERTA;MICRALYNE INC. 发明人 ROBBIE, KEVIN, JOHN;BRETT, MICHAEL, JULIAN
分类号 C23C14/24;B81B1/00;C23C14/22;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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