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发明名称 USE OF ELECTRONIC SPECKLE INTERFEROMETRY FOR DEFECT DETECTION IN FABRICATED DEVICES
摘要
申请公布号 EP1472531(A2) 申请公布日期 2004.11.03
申请号 EP20030706085 申请日期 2003.02.03
申请人 MILLIPORE CORPORATION;PETERSON, MICHAEL, L. JR. 发明人 PETERSON, MICHAEL, L., JR;DILEO, ANTHONY, J.
分类号 G01N29/12;G01B9/02;G01B11/16;G01N21/45;G01N21/88;G01N29/24;G01N29/44;G01N29/50;(IPC1-7):G01N29/14 主分类号 G01N29/12
代理机构 代理人
主权项
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