双阴极—高频辉光离子渗镀设备及工艺

摘要

本发明双阴极-高频辉光离子渗镀设备及工艺，是在双层辉光离子渗金属设备阴极和源极之间设置高频感应装置，此装置不是溅射供给源，是一个产生辉光放电电离体的无极放电装置，并具有辅助加热源极溅射材料和阴极工件的作用。利用高频感应装置所产生的强大磁场和电场使阴极和源极之间的辉光放电增强，离化率增加，从而提供了一种在导电材料的工件表面加速形成合金元素扩散层、沉积层及它们之间相互结合的复合渗镀层的设备和工艺方法。

主权项

1.本发明双阴极-高频辉光离子渗镀设备，其特征在于，在双层辉光离子渗金属设备两个阴极之间设置高频感应装置，主要由提供欲溅射合金元素的源极(1)，放置工件的阴极(2)，工件(3)，真空容器的外壳(4)，高频感应装置(5)，辅助阴极(6)，高压直流溅射电源(7)和高压直流加热电源(8)，高频发生器(9)，抽真空系统(10)，进气系统(11)组成，提供欲溅射合金元素的源极(1)与高压直流溅射电源(7)的阴极相接，放置工件的阴极(2)与高压直流加热电源(8)的阴极相接，工件(3)置于放置工件的阴极(2)上的辅助阴极(6)内，高压直流溅射电源(7)和高压直流加热电源(8)的阳极均接在真空容器的外壳(4)上，高频感应装置(5)设置在辅助阴极(6)的外面，辅助阴极(6)放置在放置工件的阴极(2)上，高频发生器(9)的两个极分别接在高频感应装置(5)的两个极上。