| 发明名称 |
ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY FOR MICROLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1320854(B1) |
申请公布日期 |
2004.11.03 |
| 申请号 |
EP20010982375 |
申请日期 |
2001.09.28 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
ANTONI, MARTIN;SINGER, WOLFGANG;WANGLER, JOHANNES |
| 分类号 |
G02B13/18;F21V5/00;F21V7/00;F21V13/04;G02B17/00;G02B17/08;G02B19/00;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/02;G21K5/04;H01L21/027;(IPC1-7):G21K5/04 |
主分类号 |
G02B13/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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