制备表面声波器件的方法

摘要

一种压电基材配备有包括第一电极层，第二电极层和主要由铝制成的第三电极层的叉指式换能器电极。压电基材在压电基材的表面上具有阶梯式结构，该阶梯式结构包括各自的宽度为约50nm或更小的阶面和各自的宽度为单分子层(例如，约14)的阶梯。

主权项

1.一种制备表面声波器件的方法，所述的表面声波器件具有在压电基材上的基电极上形成的主电极，该方法包含：在压电基材的表面上形成阶梯式结构的步骤，所述的阶梯式结构包括各自的宽度为约50nm或更窄的阶面，以及，各自具有单分子层宽度的阶梯；为形成基电极而形成第一电极层和第二电极层的步骤，所述的第一电极层和第二电极层用于改善主电极的结晶度；和为形成主电极而在所述的第二电极层上形成第三电极层的步骤，所述的第三电极层是主要由铝组成的。