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发明名称 X-RAY INSPECTION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1472522(A1) 申请公布日期 2004.11.03
申请号 EP20020715583 申请日期 2002.01.28
申请人 CAMBRIDGE IMAGING LIMITED 发明人 RUSHBROOKE, JOHN, GORDON;HOOPER, CLAIRE, ELIZABETH
分类号 G01N23/10;G01V5/00;H01L27/146;(IPC1-7):G01N23/04 主分类号 G01N23/10
代理机构 代理人
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