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发明名称 REACTOR ASSEMBLY AND PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 EP1472719(A2) 申请公布日期 2004.11.03
申请号 EP20030709045 申请日期 2003.02.10
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC. 发明人 KINNARD, DAVID;FERRIS, DAVID
分类号 H01L21/3065;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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