| 发明名称 |
CHUCK, LITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS, METHOD OF MANUFACTURING A CHUCK AND DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG106683(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.29 |
| 申请号 |
SG20030002379 |
申请日期 |
2003.04.29 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
VAN ELP, JAN;GIESEN, PETER;VAN DER VELDE, JACOB, JAN |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):G03F7/20;G03F9/00;H01L21/00;H01L21/68 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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