发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT EN NITRURE D'ALUMINIUM AlN
摘要
申请公布号 FR2845078(B1) 申请公布日期 2004.10.29
申请号 FR20020011898 申请日期 2002.09.26
申请人 ALSTOM 发明人 PETITBON ALAIN;FERRATO MARC;JARRIGE JEAN
分类号 H05H1/26;C04B35/581;C04B35/628;C23C4/10;C23C4/12;C23C4/18;C23C14/06;C23C18/12;C23C24/08;H01L21/48;H01L21/84;(IPC1-7):C01B21/072;C23C24/00 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
主权项
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