发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT EN NITRURE D'ALUMINIUM AlN |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2845078(B1) |
申请公布日期 |
2004.10.29 |
申请号 |
FR20020011898 |
申请日期 |
2002.09.26 |
申请人 |
ALSTOM |
发明人 |
PETITBON ALAIN;FERRATO MARC;JARRIGE JEAN |
分类号 |
H05H1/26;C04B35/581;C04B35/628;C23C4/10;C23C4/12;C23C4/18;C23C14/06;C23C18/12;C23C24/08;H01L21/48;H01L21/84;(IPC1-7):C01B21/072;C23C24/00 |
主分类号 |
H05H1/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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