| 发明名称 |
Thin film membrane structure |
| 摘要 |
A membrane structure comprising a silicon film having a grain structure including grains defining pores therebetween.
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| 申请公布号 |
US2004212028(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.28 |
| 申请号 |
US20040852833 |
申请日期 |
2004.05.24 |
| 申请人 |
DOUGHERTY GEORGE M. |
发明人 |
DOUGHERTY GEORGE M. |
| 分类号 |
B01D71/02;B81B3/00;H01L21/285;H01L29/16;(IPC1-7):H01L21/00;H01L29/82 |
主分类号 |
B01D71/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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