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发明名称 Verfahren zum Bedampfen bandförmiger Substrate mit einer transparenten Barriereschicht aus Aluminiumoxid
摘要
申请公布号 DE10255822(B4) 申请公布日期 2004.10.28
申请号 DE20021055822 申请日期 2002.11.29
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SCHILLER, NICOLAS;STRAACH, STEFFEN;RAEBISCH, MATHIAS;FAHLAND, MATTHIAS;CHARTON, CHRISTOPH
分类号 C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C28/00;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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