<p>Bei der Erfindung handelt es sich um eine Vorrichtung und Verfahren zur Wärmebehandlung von Substraten, mit einem ringförmigen Wärmebehandlungsbereich mit einem Drehteller zur Aufnahme von Substrathaltern, wobei die Substrathalter mindestens zu zweien hintereinander in Wärmebehandlungszonen angeordnet sind, die wiederum in Speichenform radial um den Drehtellermittelpunkt angeordnet sind.</p>
申请公布号
WO2004093161(A1)
申请公布日期
2004.10.28
申请号
WO2004CH00223
申请日期
2004.04.13
申请人
UNAXIS BALZERS AG;EISENHAMMER, THOMAS;MATT, THOMAS;STRITTMATTER, GEBHARD;ZAPF, KLAUS
发明人
EISENHAMMER, THOMAS;MATT, THOMAS;STRITTMATTER, GEBHARD;ZAPF, KLAUS
