| 发明名称 |
MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING AN ADJUSTABLE RESONANCE FREQUENCY |
| 摘要 |
<p>Ein beschriebenes mikromechanisches Bauelement umfasst ein Schwingungssystem, das einen Schwingungskörper (12) und eine elastische Aufhängung (11), mittels der der Schwingungskörper (12) schwingfähig aufgehängt ist, aufweist, sowie eine Einrichtung zum Einstellen einer Resonanzfrequenz des Schwingungssystems durch Anlegen einer Spannungsdifferenz (12) zwischen zumindest einem Teil des Schwingungskörpers und zumindest einer stationären Elektrode (20a, 20b).</p> |
| 申请公布号 |
WO2004092745(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.28 |
| 申请号 |
WO2003EP03943 |
申请日期 |
2003.04.15 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.;DRABE, CHRISTIAN;WOLTER, ALEXANDER;SCHENK, HARALD |
发明人 |
DRABE, CHRISTIAN;WOLTER, ALEXANDER;SCHENK, HARALD |
| 分类号 |
G01C19/5642;G02B26/08;H02N1/00;H03H9/02;H03H9/24;(IPC1-7):G01P15/10;B81B3/00;H03H3/013;G01C19/56 |
主分类号 |
G01C19/5642 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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