发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Heterobipolartransistors mittels zweischichtiger Photolacks
摘要
申请公布号 DE69729346(T2) 申请公布日期 2004.10.28
申请号 DE1997629346T 申请日期 1997.03.27
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES 发明人 OKI, AARON KENJI;UMEMOTO, DONALD KATSU;TRAN, LIEM T.;STREIT, DWIGHT CHRISTOPHER
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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