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发明名称 SEMICONDUCTOR OR LIQUID CRYSTAL PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20040091524(A) 申请公布日期 2004.10.28
申请号 KR20037014738 申请日期 2003.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/285;H01L21/3065;H01L21/687 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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