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发明名称 Method of making shallow semiconductor junctions
摘要
申请公布号 GB0421407(D0) 申请公布日期 2004.10.27
申请号 GB20040021407 申请日期 2004.09.25
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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