光束均匀器、激光照射装置及半导体装置制造方法

摘要

本发明提供一种光束均匀器，其能形成在长轴方向具有均匀能量分布的矩形束斑，而无需使用需要高精度制造的光学透镜。此外，本发明提供一种激光照射装置，其能照射出在长轴方向具有均匀能量分布的激光束。另外，本发明提供一种制造半导体装置的方法，其能增强衬底表面的可结晶性，并且制造出具有较高工作性能的TFT。本发明之一的光束均匀器将被照射表面上的束斑整形成具有10或更高，优选为100或更高长宽比的矩形束斑，并且该光束均匀器包括一光波导，该光波导用于使矩形束斑在其长轴方向的能量分布均匀化。

主权项

1、一种光束均匀器，包括：用于使束斑在一个方向的能量分布均匀化的光学系统，该束斑为线形，该光学系统包括：光波导，其包括一对相对设置的反射面，其中所述一个方向为线形的长轴方向，并且其中激光束入射到光波导的一个端部，并且从该光波导的另一端部射出。