| 发明名称 | 激光加工机床 | ||
| 摘要 | 一种激光加工机床包括一个用于保持工件的卡盘工作台和一个用于施加激光到被保持在卡盘工作台的工件的激光施加装置，其中机床还包括在激光加工之前在工件的待加工表面上形成保护膜的保护膜形成装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1539590A | 申请公布日期 | 2004.10.27 |
| 申请号 | CN200410045174.6 | 申请日期 | 2004.04.24 |
| 申请人 | 株式会社迪斯科 | 发明人 | 关家一马;吉川敏行 |
| 分类号 | B23K26/18;H01L21/304 | 主分类号 | B23K26/18 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 蔡民军 |
| 主权项 | 1.一种激光加工机床包括一个用于保持工件的卡盘工作台和一个用于施加激光到被保持在卡盘工作台的工件的激光施加装置，其中机床还包括在激光加工之前在工件的待加工表面上形成保护膜的保护膜形成装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||