| 发明名称 |
Method & system for operating a variable aperture in an ion implanter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1030343(B1) |
申请公布日期 |
2004.10.27 |
| 申请号 |
EP20000301219 |
申请日期 |
2000.02.16 |
| 申请人 |
AXCELIS TECH INC |
发明人 |
LOOMIS PAUL ASHBY;RUTISHAUSER HANS JURG;LU JUN;SUGITANI MICHIRO;MURAKAMI TORU;SOGABE HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/09;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/09 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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