一种测量宽带光源双光束干涉零光程差位置的方法

摘要

本发明的目的在于提供一种快速准确测量双光束宽带光源干涉零光程差位置的方法。由LED(1)和LED(2)光源构成宽带光入射到单向耦合器(3)中，双向耦合器(4)将单向耦合器出射的光分别耦合到光传感器(5)和匹配臂(6)，并将光传感器和匹配臂的反射光耦合输出至干涉检测仪(7)。以干涉光波长1/4为采样步长，等间隔检测采样点的干涉光强，再由计算式得到干涉调制度分布，该分布的最大位置，即为双光束干涉零光程差位置。本发明可以精确地确定使用相干长度分布与费米－狄拉克统计分布相类似的光源干涉调制度，而且对于其它光源干涉调制度的最大值位置测量也适用，可广泛地用于以绝对位置为基本量的光学传感测量及相关的应用场合。

主权项

1.一种测量宽带光源双光束干涉零光程差位置的方法，具有LED光源(1)，LD光源(2)，单向偶合器(3)，双向偶合器(4)，光传感器(5)，匹配臂(6)，其特征在于由LED光源(1)和LD光源(2)构成宽带光入射到单向偶合器(3)中，双向偶合器(4)将单向偶合器(3)出射的光分别偶合到光传感器(5)和匹配臂(6)，并将光传感器(5)和匹配臂(6)的反射光偶合输出至干涉检测仪，经两个反射面A、B反射后，由干涉光输出处输出，在干涉光输出位置由光电转换器(7)进行干涉光强测量。