发明名称 |
一种特别适用于光学、电子学或光电子学器件的基片加工方法和由该方法获得的基片 |
摘要 |
本发明涉及一种加工基片的方法,该基片包括一构成机械支承的一层来承载的薄层;这一加工方法特别适用于光学、电子学或光电子学器件。根据本发明的方法包括以下步骤:自源基片(6)上分离一层材料,以形成薄层(2);而后在薄层(2)上沉积材料制备一厚层(4),以形成构成机械支承的所述层。 |
申请公布号 |
CN1541405A |
申请公布日期 |
2004.10.27 |
申请号 |
CN01820799.5 |
申请日期 |
2001.11.26 |
申请人 |
S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
发明人 |
B·吉斯内;F·勒泰特 |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/302;H01L29/165;H01L29/205;H01L29/267 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 |
代理人 |
程伟;彭益群 |
主权项 |
1、一种加工基片的方法,该基片包括一薄层,它由构成机械支承的一层所承载;这种基片特别适用于光学、电子学、或光电子学器件;该方法包括以下步骤:·从源基片(6)上分离一层材料,以形成所述薄层(2);·在所述薄层(2)上由沉积材料制备一厚层(4),以形成构成所述机械支承的层。 |
地址 |
法国贝尔内 |