| 发明名称 | 用于控制沉积在基板上的微滴质量的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于控制沉积在基板(2)上的微滴(4)质量的装置，该装置包括一用于照明基板(2)的光源(10)，微滴(4)沉积在该基板上。设置一图像产生装置(12)，以便接收从光源(10)发出并且通过基板(2)或者被所述基板反射的光，并产生图像。本发明还包括一种用于分析所产生的图像的装置，根据作为在基板(2)上沉积微滴(4)所产生的折射效果而在所述图像中产生的图案进行分析。 | ||
| 申请公布号 | CN1172746C | 申请公布日期 | 2004.10.27 |
| 申请号 | CN00813524.X | 申请日期 | 2000.10.05 |
| 申请人 | 哈恩－席卡德应用研究学会 | 发明人 | 史蒂芬·贝克斯;霍尔格·格鲁勒;罗兰德·赞格勒 |
| 分类号 | B01L3/00;G01N21/25 | 主分类号 | B01L3/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李德山 |
| 主权项 | 1.一种用于控制沉积在基板(2；2’)上的透明微滴(4)质量的装置，包括：一光源(10)，用于以平行光线照明其上沉积有透明微滴(4)的基板(2，2’)；一图像产生装置(12)，用于接收由光源(10)产生并通过基板(2)或由基板(2’)反射的光，以便产生图像(20)；用于在所述图像(20)中对于由沉积在基板(2，2’)上的透明微滴(4)的凸表面产生的折射效果所产生的图案(14，16)进行识别的装置；以及用于在被识别图案的基础上相对于基板(2；2’)上沉积的透明微滴(4)的存在、位置和/或尺寸分析所产生的图像(20)的装置，通过所述图案(14，16)从固体颗粒(22)辨别出透明微滴(4)。 | ||
| 地址 | 德国菲林根－施文宁根 | ||