微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置

摘要

微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置属于微波低温等离子体技术领域。其特征在于，使微波通过在位置上存在相互旋转180度关系的双三角形波导管产生两束微波，使这两束微波经过双三角形的波导管后直接通过微波窗片耦合进入谐振腔，并在谐振腔内进行叠加，形成一种新的双束微波场。为达到本方法的目的，所设计的装置特征是，在过渡矩形波导管6与陶瓷微波窗片8及窗片法兰9之间，接入了一段在矩形波导管内部插入均分板19后、形成的双三角形的波导管7，其横截面被分为了两个三角形。本发明不仅较好地解决了电子回旋共振设备等离子体不均匀性的问题，且制造安装简便，对等离子体无污染，避免了采用同轴波导和多槽天线带来的制造安装复杂等问题。

主权项

1、微波电子回旋共振等离子体均匀化方法，包括有利用电子回旋共振系统中的微波源产生微波后，经波导管和波导窗导入谐振腔，在谐振腔和沉积室内产生电子回旋共振的等离子体，用于对样件进行薄膜沉积，本发明的特征在于，使微波通过在位置上存在相互旋转180度关系的双三角形波导管产生两束微波，使这两束微波经过双三角形的波导管后直接通过微波窗片耦合进入谐振腔，并在谐振腔内进行叠加，形成一种新的双束微波场。