| 发明名称 |
PGO SOLUTIONS FOR THE PREPARATION OF PGO THIN FILMS VIA SPIN COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1470579(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.27 |
| 申请号 |
EP20020711271 |
申请日期 |
2002.01.31 |
| 申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
ZHUANG WEI-WEI;MAA JER-SHEN;ZHANG FENGYAN;HSU SHENG TENG |
| 分类号 |
H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/314 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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