| 发明名称 |
AN ABSOLUTE MICROMACHINED SILICON PRESSURE SENSOR WITH BACKSIDE HERMETIC COVER AND METHOD OF MAKING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1470405(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.27 |
| 申请号 |
EP20030707576 |
申请日期 |
2003.01.30 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
PARKER, GREGORY, D. |
| 分类号 |
G01L9/00;G01L19/06;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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