景泰蓝结构的化学机械抛光中的终点检测

摘要

景泰蓝结构的制造方法，其中金属氧化物层的顶表面与基底上形成的金属结构的顶表面共平面。至少在金属结构的顶表面上淀积氮化物层，在金属结构和氮化物层上淀积金属氧化物层。然后通过使用浆料的化学机械抛光(CMP)工艺，对金属氧化物层进行抛光，暴露金属结构顶表面上的氮化物层。对氮化物层的抛光使氨产生于浆料中。从浆料中提取气体的氨，根据提取氨的浓度产生信号。根据信号的变化终止CMP工艺。

主权项

1.一种景泰蓝结构的制造方法，其中金属氧化物层的顶表面与基底上形成的金属结构的顶表面为共平面，该方法包括以下步骤：至少在金属结构的顶表面上淀积氮化物层；在金属结构和氮化物层上淀积金属氧化物层；通过使用浆料的化学机械抛光工艺对金属氧化物层进行抛光，以便去除氮化物层上的金属氧化物，从而暴露金属结构顶表面上的氮化物层；通过化学机械抛光工艺抛光金属氧化物层和氮化物层，对氮化物层的抛光在浆料中产生氨；从浆料中提取作为气体的氨；根据在所述提取步骤中提取的氨的浓度产生信号；根据信号的改变终止化学机械抛光工艺。