| 发明名称 |
Growth of ZnO film using single source CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6808743(B2) |
申请公布日期 |
2004.10.26 |
| 申请号 |
US20030297506 |
申请日期 |
2003.04.09 |
| 申请人 |
UNISEARCH LTD |
发明人 |
PETRELLA ANTONELLA JULIE;LAMB ROBERT NORMAN;ROBERTS NICHOLAS KENNETH |
| 分类号 |
C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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