发明名称 X-ray fluorescence thickness measurement device
摘要
申请公布号 US6810106(B2) 申请公布日期 2004.10.26
申请号 US20010916519 申请日期 2001.07.27
申请人 SII NANOTECHNOLOGY INC 发明人 SATO MASAO
分类号 G01B15/02;G01N23/223;G01T1/36;G21K1/02;G21K1/06;(IPC1-7):G01B15/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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