| 主权项 |
1.一种质流控制器之错误监测装置,包括:一质流控制器,其外部有一凸起介面;以及,一错误监测装置,其内部具有一放大器及一基准产生电路及二个比较器及一光耦合装置,其外部具有三个介面;该质流控制器系利用一凸起介面安装于错误监测装置的凹陷介面上;该错误监测装置系利用一凸起介面与气体质流控制系统原来的控制线相连,该系统之控制电压输入后,由放大器放大,该放大器连接基准产生电路,该基准产生电路产生之基准电位经比较器与质流控制器之回馈输出电压比较后,由光耦合装置输出至气体质流控制系统;该错误监测装置另具有一与系统连线之介面,可供传输该质流控制器之错误讯号。2.如申请专利范围第1项所述之错误监测装置,其中该质流控制器之凸起介面具有一电压设定端及一电压输出端,该电压设定端与放大器相连,系用以传输质流控制器之控制电压,该电压输出端与两比较器相连,系用以传输质流控制器之回馈输出电压。3.如申请专利范围第1项所述之错误监测装置,其中该放大器之输入端与该质流控制器之电压设定端相连,该放大器之输出端则连接基准产生电路,以产生调节电压及基准电位。4.如申请专利范围第1项所述之错误监测装置,其中该基准产生电路具两输出端,分别连接两比较器,以便与质统控制器之回馈输出电压作比较。5.如申请专利范围第1项所述之错误监测装置,其中该光耦合装置系为一隔离构造,可改用继电器取代,用以隔离错误监测装置之电路及气体质流控制系统之电路。图式简单说明:图一为质流控制器之错误监测装置之方块图;图二为质流控制器之错误监测装置之电路图;图三为正常状况之基准电位与回馈输出电压关系图;图四为异常状况之基准电位与回馈输出电压关系图;图五为另一异常状况之基准电位与回馈输出电压关系图; |
