| 主权项 |
1.一种用于薄膜沉积设备的蒸馏器,其系包含有:一个主体,其具有一个内部空间并且包括有一个转变气体进入管件、二个混合气体排出管件、以及一个第一加热器;一种转变气体系经由该转变气体进入管件而被供应,一种混合气体系经由该混合气体排出管件而被排出,该第一加热器系被安装在该主体中以加热该内部空间;以及一个或多个喷出单元,其系被安装在该主体的侧边上以将前驱物喷入该主体之中。2.如申请专利范围第1项所述的蒸馏器,其中,每个喷出单元系包括有:一个管体。其系被连接到一个前驱物进入管件,前驱物系经由该前驱物进入管件而被供应;一个螺线管阀,其系被安装在该管体中并且选择性地开启/关闭一个喷出喷嘴,该喷出喷嘴系被安装成朝向该主体的内侧以反应一个外部电子讯号;以及一个冷却单元,其系被安装在该管体的外侧处。3.如申请专利范围第1项或第2项所述的蒸馏器,其更包含有一个喷淋喷嘴,其系被安装在接近位于该主体中的转变气体进入管件处并且包括有复数个洞孔,用以均匀地将该转变气体分布在该主体中。4.如申请专利范围第1项或第2项所述的蒸馏器,其更包含有:一个第二加热器,其系被安装在该主体的中心处,用以加热被供应的前驱物;以及一个感测器,其系量测在该主体中的温度并且产生一个用于控制该第一加热器以及/或该第二加热器的讯号。5.如申请专利范围第1项或第2项所述的蒸馏器,其更包含有一个绝缘体,该绝缘体系包裹该主体外侧周围。6.如申请专利范围第1项或第2项所述的蒸馏器,其中,该主体的形状是圆柱形或是多边形。7.如申请专利范围第1项或第2项所述的蒸馏器,其中,该主体的底部具有一种圆锥形形状,使得一种前驱物与一种转变气体的一种混合气体可以顺利地流过该主体。图式简单说明:第一图为根据本发明一个第一实施例之用于薄膜沉积设备之蒸馏器的侧向剖面图;第二图为如第一图所示之喷淋喷嘴的立体图;第三图为如第一图所示之蒸馏器的顶部部份剖面图;第四图为根据本发明一个第二实施例之用于薄膜沉积设备之蒸馏器的顶部部份剖面图;第五图为根据本发明一个第三实施例之用于薄膜沉积设备之蒸馏器的侧向剖面图;第六图为如第五图所示之蒸馏器的顶部部份剖面图;以及第七图为根据本发明一个第四实施例之用于薄膜沉积设备之蒸馏器的顶部部份剖面图。 |
