发明名称 |
COMPONENT WITH A PIEZOELECTRIC FUNCTIONAL LAYER |
摘要 |
<p>In einem elektrischen Bauelement in Dünnschichtbauweise, welches eine piezoelektrische Funktionsschicht aufweist, wird die Schichtqualität der Funktionsschicht dadurch verbessert, dass zwischen Elektrodenschicht und piezoelektrischer Schicht eine Wachstumsschicht vorgesehen wird. Damit wird die Funktion der Elektrodenschicht von der einer wachstumsunterstützenden Schicht getrennt, wobei die Funktionen anhand getrennter Schichten unabhängig voneinander optimiert werden können. Erfindungsgemässe Bauelemente können als BAW-Resonatoren, Dünnschichtpiezoaktoren oder Piezosensoren ausgebildet sein.</p> |
申请公布号 |
WO2004091098(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.21 |
申请号 |
WO2004EP01122 |
申请日期 |
2004.02.06 |
申请人 |
EPCOS AG;METZGER, THOMAS;DIEKMANN, CHRISTIAN;SCHMIDHAMMER, EDGAR |
发明人 |
METZGER, THOMAS;DIEKMANN, CHRISTIAN;SCHMIDHAMMER, EDGAR |
分类号 |
B31D5/00;B65B3/00;H01L41/083;H01L41/319;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/58;(IPC1-7):H03H9/17 |
主分类号 |
B31D5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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