首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Vorrichtung zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase und Verfahren zu deren Reinigung
摘要
申请公布号 DE69820950(T2) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 DE1998620950T 申请日期 1998.10.13
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 SUZUKI, HIDENAO;NAKADA, TSUTOMU;ABE, MASAHITO;SAITOH, MASAO
分类号 C23C14/00;C23C14/34;C23C16/44;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com