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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Permeationsrate von Gasen und Dämpfen durch Proben, bei der ein Massenspektrometer als Detektor eingesetzt wird. DOLLAR A Ein Gascontainer mit der Testprobe wird mit Gas oder Dampf in einer Füllkammer gefüllt. Eine in den Gascontainer integrierte Vorrichtung ermöglicht die Veränderung des inneren Volumens und kann somit den Druckverlust infolge der durch Permeation hervorgerufenen Verarmung an Gas oder Dampf kompensieren. Nach dem Transfer der Testprobe in die Untersuchungskammer wird der Partialdruck des Gases oder Dampfes mit einem Massenspektrometer bestimmt. Nach Kalibrierung ergibt sich aus dem gemessenen Partialdruck die Permeationsrate. DOLLAR A Die Permeationsrate kann durch Probenkanten oder durch komplette Vorrichtungen untersucht werden. Die Permeationsrate kann ortsaufgelöst an verschiedenen Stellen der Testprobe untersucht werden.
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