摘要 |
Eine Halbleiteranordnung weist ein erstes Substrat (1), welches erste, zweite und dritte Schichten (1a-1c) enthält, und ein zweites Substrat (2) auf, welches vierte, fünfte und sechste Schichten (2a-2c) enthält. Das erste Substrat (1) bildet eine elektrische Vorrichtung. Das zweite Substrat (2) bildet einen physikalischen Größensensor. Die erste Schicht (1a) des ersten Substrats (1) und die vierte Schicht (2a) des zweiten Substrats (2) sind Abschirmungen zum Schutz der elektrischen Vorrichtung und des physikalischen Größensensors. Die Halbleiteranordnung wird vor einer äußeren Störung ohne Hinzufügen einer zusätzlichen Abschirmung geschützt.
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