发明名称
摘要
申请公布号 JP2004532519(A) 申请公布日期 2004.10.21
申请号 JP20020576013 申请日期 2002.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L23/522;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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