| 摘要 |
本文揭示一种使用具有通式CpMCp’二茂金属或似二茂金属–前驱物制备薄膜、涂层或粉末的方法，其中M为一种选自Ru、Os和Fe的金属；Cp为一种包括至少一个取代基D1的第一取代之环戊二烯基或似环戊二烯基(例如，基)部分，其中D1为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1；或Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1；和Cp’为一种包括至少一个取代基D1’的第二取代之环戊二烯基或似环戊二烯基(例如，基)部分，其中D1’为X；Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)Ca1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1；Ca2Hb2Xc2(C＝O)OCa1Hb1Xc1；或Ca2Hb2Xc2O(C＝O)Ca1Hb1Xc1。D1和D1’彼此不同。X为卤素原子或NO2；a1为在1和8之间的整数；b1为在0和2(a1)＋1–c1之间的整数；c1为在0和2(a1)＋1–b1之间的整数；b1＋c1为至少1；a2为在0和8之间的整数；b2为在0和2(a2)＋1–c2之间的整数；及c2为在0和2(a2)＋1–b2之间的整数。该方法可用于制造或处理电子装置。 |
