| 摘要 |
揭示一种系统与方法，可用来回收微影工具中的气体。第一室包含一元件，可根据第一气体而发光。第二室使用所发出的光线来执行一处理，且包含第二气体。第一与第二气体会在此两室之间汇聚，且至少其中一气体会被抽入一储存装置中。此两种气体之至少之一会从此储存装置而回收于该系统中，或者远离该系统而可能在该系统内再使用。可使用一气锁将第一室连接到第二室。一气源在气锁中的第一与第二气体之间供应一第三气体，致使第一气体在气锁中会与第二气体隔开。第一、第二及／或第三气体可以被抽入储存装置中，且被排定路径到回收装置上。第一、第二及／或第三气体可以被回收再次使用，而形成发射光。 |
