稳定材料层性质的方法

摘要

一种稳定材料层的方法，此方法系将数个存放于晶圆盒之晶圆，依序送入反应室中进行材料层沈积，之后并传送至持续通入特定气体之晶圆盒中存放，直到晶圆盒内所有晶圆都已经过处理。由于在进行材料层之沈积过程中，已形成有材料层之晶圆系存放于持续通入气体的晶圆盒中，因此可有效稳定材料层的性质，并减少出气现象所导致的污染。