光阻组成物

摘要

本发明系提供对F2激元激光等真空紫外线具有透明性，且易形成具有优良敏感度、解像度、平坦性、耐热性等之光阻图案的光阻组成物。该光阻组成物之特征系含有，具有环烷基，具有1个以上该环烷基之有机基或二环烷基等嵌段化基而嵌段化之酸性基的含氟聚合物(A)、及受光照射可产生酸之产酸化合物(B)及有机溶剂(C)。