光阻剂组成物之微分溶解率之控制方法,多环烯烃聚合物及用以制造这些聚合物之单体

摘要

一种光阻剂组成物，系涵盖提供一种具有至少一种具有吾所欲外莫耳％之多环烯烃重复单元的聚合物，其中重复单元系衍生自具有吾所欲外莫耳％之多环烯烃单体。此等具有吾所欲外莫耳％之重复单元的聚合物可赋予控制微分溶解率，且因此提供强化之影像性质。也提供具有吾所欲外莫耳％之例证性单体。