发明名称 用以消除电镀焊料中空洞之方法
摘要 提供一种电镀焊接物的方法。根据此方法,提供在其上有胚金属化层的晶粒。此胚金属化层系以含酸及氧化剂之溶解液加以微蚀刻(85),由之形成蚀刻胚金属化层。一底突块金属化层(UBM)接着被电镀(87)在蚀刻胚金属化层上,以及无引线焊接组成,例如SnCu,被电镀(91)在此底突块金属化层上。还提供用来回流焊接的方法,其可与电镀焊接方法一并使用。根据后面的方法,基板历经胚金属化层蚀刻(137),接着是微蚀刻(141)。焊接助熔剂接着分布在该基板(147)上而焊接物则回流(149)。图10与本摘要一起的。
申请公布号 TW200421495 申请公布日期 2004.10.16
申请号 TW092127975 申请日期 2003.10.08
申请人 摩托罗拉公司 发明人 欧文 菲
分类号 H01L21/44 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国