带有检查元件之基板及其制造方法以及光电装置用基板及光电装置及电子机器

摘要

藉由具备分别形成有成膜图案的复数之成膜层；及分别形成在前记复数成膜层彼此间的层间膜；及以相同于前记复数成膜层中之至少1个成膜层之各成膜图案之材料，形成在检查元件形成领域的检查元件图案；及形成在已被平坦化之最上层之层间膜的前记检查元件形成领域，连接至前记检查元件图案，让复数焊垫露出的开孔部；及以相同于前记复数成膜层中之所定成膜层之各成膜图案的材料，形成在前记各复数焊垫下方的假图案(dummypattern)，以规定出检查元件形成领域中的PAD及接触孔等之垂直位置，为其特征。