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发明名称
具有突出部分的浮动闸极式非挥发性记忆体
摘要
在一个非挥发性记忆体单元中,该浮动闸极160有一向上突出部分。该向上突出部分被形成而如同该选择闸极140的一侧壁的一间隔。该间隔可由一层160.2所形成,该160.2沉积在另一层160.1之后,该160.1层提供该浮动闸极的一低的部分。还有其他选择地,该向上突出部分及该低的部分可由相同的层或次层形成,所有的该层或次层表现于二该部分。该控制闸极170能以非黄光制程的方式定义出。其他的实施例亦被提供。
申请公布号
TW200421559
申请公布日期
2004.10.16
申请号
TW093103313
申请日期
2004.02.12
申请人
台湾茂矽电子股份有限公司
发明人
丁逸
分类号
H01L21/8246
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
地址
新竹市科学工业园区力行路十九号
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